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半導(dǎo)體行業(yè)的高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 85 /86 系列壓力傳感器進(jìn)行精確測量
專欄：技術(shù)支持
發(fā)布日期：2022-06-11
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在相同的氣體流量應(yīng)用工藝中 ，采用相同的氣體質(zhì)量流量控制器 ，使用了高速自動壓力調(diào)節(jié)閥控制的次級壓力非常穩(wěn)定 ，并且氣體質(zhì)量流量控制器控制的氣體輸出也更穩(wěn)定，基本消除了較大的流量控制偏差 。
 半導(dǎo)體行業(yè)MOCVD工藝或者LCD濺射CVD工藝中，精確的氣體分配和氣體質(zhì)量流量控制都是十分關(guān)鍵的技術(shù) Key Physical Parameters in Semiconductor 分 配 氣體質(zhì)量流量控制 控制的關(guān)鍵點之一是控制分配閥前端管道的壓力值保持穩(wěn)定。 實際使用過程中 壓 力 自動壓力調(diào)節(jié)控制 壓力自動調(diào)節(jié)閥 于是 上圖中采用UR高速自動壓力調(diào)節(jié)閥和傳統(tǒng)的壓力控制方式，可以很明顯地看到壓力控制區(qū)別以及后續(xù)氣體質(zhì)量流量控制效果。 黑色爬坡下坡實線為主管道初級壓力波動曲線 壓 力 測 量 高速壓力調(diào)節(jié)閥采用 進(jìn)行壓力測量 采用模擬信號輸出的緊湊型85/86系列壓力晶圓 快速準(zhǔn)確的壓力測量為高速準(zhǔn)確的壓力自動調(diào)節(jié)提供穩(wěn)定信號支持 快速測量：10%至90%頻響 0.1mS |
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